六氟化硫生产工艺及设计

高纯六氟化硫在常温常压下呈气态，装瓶后为高压液体。无色、无臭、无毒、不燃。具有良好的化学稳定性和热稳定性。近年来在许多生产技术领域中,越来越显示出它的重要性。

六氟化硫用途

高纯六氟化硫是我国科研、生产等许多部门急需的特种气体,在半导体工业巾用于等离子蚀刻工艺,在光导纤维制造中用作隔离层掺杂剂。还是重要的激光材料,在其它领域也有重要用途。因为良好的绝缘性和灭弧性，气体被广泛应用于电器工业，如断路器、高压开关、高压变压器、高压传输线、互感器等。具体的应用体现在以下几方面。

1、高纯六氟化硫还因化学惰性及无毒、不燃及无腐蚀性，广泛用于金属冶炼及大气示踪、电子制造等行业。

2、电子级高纯的六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，大量应用于微电子等技术领域。

3、冷冻工业中，高纯六氟化硫可作为致冷剂，六氟化硫致冷范围在-45℃-0℃之间。

4、电气工业利用六氟化硫作为很高介电强度和良好的灭电弧性能，用作高压开关、大容量变压器、高压电缆、气体绝缘材料等。

5、六氟化硫气体还可以作为采矿工业用作反吸附剂，在矿井煤尘中可用于置换氧。

六氟化硫被广泛应用于电力设备行业、半导体制造业、冷冻工业、有色金属冶炼、航空航天、医疗(X光机、激光机)、气象(示踪分析)、化工等行业。由于六氟化硫具有优良的绝緣性能和减弧能力，工业级六氟化硫广泛应用于电力设备中的输配电及控制设备行业，包括气体绝緣开关设备、断路器、高压变压器、绝緣输电管线、高压开关、气封闭组合电容器、互感器等，是继第一代空气、第二代油之后的第三代绝缘介质。

电子级六氟化硫则主要应用于半导体及面板显示器件生产工艺中的蚀刻与清洗，具有用量少、纯度高、对生产及使用环境洁净度要求高和产品更新换代快等特点，国内仅有少数厂家具备生产能力。

六氟化硫生产工艺

工业上六氟化硫通常是由电解产生的氟在中高温下与硫反应来制备。大致生产过程是通过电解槽电解无水氟化氢制取F2，与加入反应釜的单质硫反应，再通过热解塔在350 °C裂解毒性较大的副产物S2F10，并通过水洗和碱洗除去HF、F2等杂质后进入低压吸附去除水分、高压吸附去除酸性气体，在-30 °C蒸馏去除空气和低沸点气体，逸出的SF6通过尾气捕集器(-60°C) 进行捕集后充装。