三氯氢硅，是一种无机化合物，由金属硅粉和氯化氢反应合成，主要用于制造多晶硅、硅烷偶联剂等。

三氯氢硅主要用途

三氯氢硅（HSiCl3）是一种用途非常广泛的有机硅单体，是生产半导体硅、单晶硅和多晶硅的重要原料，亦是合成有机硅烷和烷基、芳基以及有机官能团氯硅烷最基本的单体。随着多晶硅及有机硅烷偶联剂工业的发展，尤其是精细化工、有机硅产业、电子产品、光纤通讯等行业的快速发展，为三氯氢硅的生产和下游产品的开发提供了巨大的市场空间和机遇。

三氯氢硅合成工艺

三氯氢硅生产主要有3个工序：三氯氢硅合成、三氯氢硅精馏、尾气处理。

1、三氯氢硅合成生产工艺

硅粉用人工加入硅粉干燥器，用蒸汽加热至一定的温度，然后利用氮气和位差压入硅粉计量罐，最后由硅粉给料机送入三氯氢硅沸腾炉，与通入的氯化氢气体在一定的温度下反应；生成的气体经重力沉降器、布袋过滤器、高沸物去除器、2级冷凝器后得到粗品三氯氢硅；粗品三氯氢硅经计量槽放入氯化料储槽。

2、三氯氢硅精馏工艺流程

粗品储罐内的三氯氢硅用泵经转子流量计计量进入精馏塔塔釜；用蒸汽调节阀控制釜内温度；三氯氢硅气体自塔顶流出，经过塔顶冷凝器冷凝后，一部分进入产品计量槽，分析合格后进入成品贮罐，另一部分回流至塔顶；四氯化硅积存于精馏塔塔底，通过计量调节阀送入四氯化硅储槽。

技改前的三氯氢硅生产工艺流程图

3、尾气处理

尾气的主要成分为三氯氢硅、氯化氢和氢气。原工艺对尾气的处理方法主要是经水洗塔水解，生成不溶于水的二氧化硅和盐酸。

三氯氢硅发展趋势

随着碳中和战略的持续推进，节能减排成为发展必然趋势，新能源行业景气度较好，光伏行业发展近年来持续快速增长，作为光伏最上游原材料的三氯氢硅产品市场需求也持续增长，价格也快速增长。预计今后几年，随着国家新能源相关政策及规划的落地，光伏行业在今后几年仍将保持快速发展，多晶硅产能仍有望扩张，对于三氯氢硅产品的市场需求仍将持续增长。此外硅烷偶联剂作为三氯氢硅的重要下游产品，是功能性硅烷产品中需求量最大的一种。近年来，硅烷偶联剂在光伏、玻璃纤维、特种塑料等行业得到广泛应用，行业近年来发展迅速，预计今后几年市场需求也将持续增长，对于三氯氢硅的需求也有所带动。

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