“电子氢氟酸在集成电路、半导体制作、太阳能光伏和液晶显示屏等领域应用广泛，是微电子行业生产所需的关键基础化工原材料之一。”

电子级氢氟酸用途

电子级氢氟酸是微电子行业的关键性基础化工材料之一， 主要用于集成电路(IC)和超大规模集成电路(VLSI)制造中 ，用于晶圆表面清洗、芯片加工过程中的清洗和蚀刻等工序。在太阳能光伏行业中，用于硅片表面清洗、蚀剂等领域。硅锭到硅片，再到电池片的第一道工艺程序：清洗制绒环节会用到产品。在液晶显示器行业，用于玻璃基板清洗、氮化硅、二氧化硅蚀剂等。在TFT—LCD、半导体产业中也被广泛使用。还可用作分析试剂、原子能工业化学试剂和制备高纯度的含氟化学品。

电子级氢氟酸生产工艺

将无水氢氟酸（国家标准）经 化学预处理 后，进入精馏塔通过 精馏 操作，得到的氟化氢气体经 冷却 后，在吸收塔中用 超纯水吸收 ，并采用控制喷淋密度、气液比等方法使电子级氢氟酸进一步 纯化 ，随后经0.2μm以下 超滤 工序，最后在 密闭洁净环境条件下（百级以下） 进行灌装 得到最终产品———电子级氢氟酸。

目前国内外制备电子级氢氟酸的常用提纯技术有精馏、蒸馏、亚沸蒸馏、减压蒸馏、气体吸收等技术，这些提纯技术各有特性，各有所长。如亚沸蒸馏技术只能用于制备量少的产品，气体吸收技术可以用于大规模的生产。

另外，由于氢氟酸的强腐蚀性，采用蒸馏工艺温度较高时腐蚀会更严重，因此所使用的蒸馏设备一般需用铂、金、银等贵金属或聚四氟乙烯等抗腐蚀性能力较强的材料来制造。

电子级氢氟酸生产装置设计与工艺流程布置密切相关，垂直流向布置，原料（无水氢氟酸和高纯水）与中间产物可以依靠重力自上而下流动，高纯氢氟酸的制备在中部，产品过滤、灌装及贮存在底层。此布置可减少泵输送，节省能耗，降低生产成本，同时可避免泵对产品的二次污染。

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