电子级高纯氢氟酸的制备方法

操作步骤：　

   （1）液体无水氯化氢的预处理：向液体无水氟化氢中加入质量百分比浓度为2-5%的高锰酸钾溶液和质量百分比浓度为2-5%的氢氧化钠溶液，搅拌，静置；　

   （2）液体无水氯化 氢的精馏：在19-35℃的温度条件下进行精馏、纯化，得到氟化氢气体；　
 
   （3）氢氟酸半成品的制备：用超纯水对步骤

   （4）所得氟化氢气体进行吸收，得到氢氟酸半成品；　

   （5）氢氟酸半成品的预处理：

    用高分子螯合剂对步骤：1、所得氢氟酸半成 品进行吸附处理；2、氢氟酸半成品中金属离子的去除：将经过预处理的氢氟酸半成品通过混合床阴阳离子体系，去除金属离子；　

   （6）电子级高纯氢氟酸的获得：将去除金属离子的氢氟酸半成品进行超滤处理，得到电子级高纯氢氟酸。

    将无水氢氟酸经过化学预处理后通过给料泵进入高位槽，再通过流量计控制进入精馏塔，通过精馏操作得到精制后的氟化氢气体，并将其送人吸收塔，精馏塔残液定期排放并制成工业级氢氟酸。在吸收塔中，通过加人经过计量后的高纯水，使精馏后的氟化氢气体形成高纯氢氟酸，并且可采用控制喷淋密度、气液比等方法使高纯氢氟酸进一步纯化，得到粗产品。随后再经过超净过滤工序，使产品进一步混合和得到过滤，保证产品的颗粒合格。最后在净化室内进行包装得到最终产品——高纯氢氟酸