乙硅烷

产品介绍

乙硅烷是一种无机化合物，在常温常压下为无色透明具有不愉快刺激臭的有毒气体。其化学式为Si2H6，分子量62.22。可溶于二硫化碳、乙基醇、苯和乙基硅酸。它腐蚀橡胶、黄油类、润滑油、铅等，但对大多数金属不腐蚀。在空气中可自燃，着火点低于室温，遇到空气即瞬间燃烧。燃烧浓度范围宽，浓度在0.2%以上时，燃烧发出火焰；浓度在0.2%以下时，进行氧化反应生成白色的SiO2。在氯气中爆炸性地燃烧。与卤素气体爆炸性地反应，但如果是在低温，则适度地进行卤化。与SF6接触则爆炸。与四氯化碳和氯仿激烈反应。与纯水和酸不反应，但与碱反应生成硅酸盐和氢。它具有与硅烷类似的化学性质，但其反应性比硅烷更强。它比硅烷更不稳定，在室温缓慢分解成硅烷和氢。在300～500℃分解成为SiH4、SinHm、H2，在光照下也分解。
产品用途：主要用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相沉积等方面。在太阳能电池生产中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多，且温度可降低200～300℃。 在离子注入中，以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强，效果明显好于用其他气体作离子源。在半导体工艺中用于外延和扩散工艺。

 

常见工艺路线

目前工业生产中，使用硅化镁与NH4CL在液氨中反应制取乙硅烷的方法较多，但是所得产物中大多数是硅烷，只有大约4%的乙硅烷产出，还会有高阶硅烷产生，需要经过精馏、吸附等方法进行提纯，才能得到高纯的乙硅烷产品。

市场发展趋势分析  

乙硅烷是一种重要的化工原料以及电子级气体。在化工领域，乙硅烷可用来制备氢气、高纯硅等产品，以及用于石墨烯生长过程中。在电子领域，乙硅烷可应用于非晶硅生长、外延生长、化学气相沉积、扩散、离子注入等工艺中，广泛应用在半导体、集成电路、太阳能电池等领域。例如应用在PECVD、LPCVD工艺中，利用乙硅烷在非晶硅片上沉积薄膜，具有工作温度要求低、成膜速度快的优点，且膜质量优异；在离子注入工艺中，乙硅烷可用作高效离子源。因此乙硅烷在芯片制造、太阳能电池领域具有巨大市场潜力。
根据新思界产业研究中心发布的《2022-2027年中国乙硅烷行业市场供需现状及发展趋势预测报告》显示，半导体、光伏产业发展拉动乙硅烷市场需求不断释放。2021年，全球乙硅烷市场规模约为2.1亿美元；预计2021-2027年，全球乙硅烷市场将以12.3%左右的年均复合增速增长，到2027年市场规模将达到4.2亿美元。在全球范围内，中国乙硅烷需求增长更为快速，2021年，中国乙硅烷市场规模在全球总量中的占比为22.1%，预计到2027年将提升至23.4%。
乙硅烷制备方法主要有硅化镁法、六氯乙硅烷还原法、甲硅烷放电法等，上游原材料主要包括硅化镁、氯化氢、六氯乙硅烷、氢化铝锂、甲硅烷、液氮等。现阶段在全球市场中，日本、北美地区乙硅烷产量占比大，但中国乙硅烷产能正在不断扩张，预计未来5年内，中国乙硅烷产量占比将持续攀升，国内市场自给能力将不断增强。
新思界行业分析人士表示，近年来，多重利好因素推动下，我国乙硅烷生产能力大幅提升，乙硅烷行业发展持续向好。伴随光伏、半导体产业快速发展，乙硅烷市场需求将进一步释放，未来乙硅烷市场发展前景较好。同时伴随市场需求升级，乙硅烷行业发展将逐渐向高端化、精细化、环保化等方向升级。

生产企业 

太和气体（荆州）有限公司
广东华特气体股份有限公司
安徽亚格盛电子新材料有限公司
浙江迅鼎半导体材料科技有限公司
保定市北方特种气体有限公司